1. 工作臺在X軸運動方向之直線度
精密水平儀置于工作臺面中央（見圖一），移動X軸，在全行程范圍內(nèi)讀出X-Z平面（由a讀出）和Y-Z平面（由b讀出）數(shù)值差；
標準直尺置于工作臺面上，使之與X軸平行，移動X軸，在全程范圍內(nèi)讀出直尺面與立柱的距離之差（見圖二）。
注：上述為檢測X軸滑軌在三個平面內(nèi)的直線度。
2. 工作臺在Y軸運動方向之直線度
精密水平儀置于工作臺面中央（見圖三），移動Y軸，在全行程范圍內(nèi)讀出Y-Z平面（由b讀出）和X-Z平面（由a讀出）數(shù)值差；
標準直尺置于工作臺面上，使之與X軸平行，移動X軸，在全程范圍內(nèi)讀出直尺面與立柱的距離之差（見圖四）。
注：上述為檢測Y軸滑軌在三個平面內(nèi)的直線度。
3. X軸運動方向?qū)ぷ髋_面的平行度
千分表座固于Z軸上，表針打至工作臺面上，X軸移動，在全程范圍內(nèi)讀出數(shù)值。
4. Y軸運動方向?qū)ぷ髋_面的平行度
千分表座固于Z軸上，表針打至工作臺面上，Y軸移動，在全程范圍內(nèi)讀出數(shù)值。
注：上述為檢測工作臺面安裝對其導(dǎo)軌的X軸和Y軸方向的平行度。
5. 工作臺面的直線度
標準直尺置于工作臺面中央（分X軸與Y軸方向）調(diào)整等高塊，使直尺與工作臺面平行，測直尺面與工作臺面在全行程范圍內(nèi)距離差值。
X－Z平面數(shù)值由直尺放置X軸方向讀出；
Y－Z平面數(shù)值由直尺放置Y軸方向讀出.
注：上述分別由X軸和Y軸方向測出工作臺面直線度，組合起來實為工作臺面的平面度。
6．X軸運動方向?qū)ぷ髋_T型槽的平行度
具體操作：千分表座固于Z軸上表針指至T型槽側(cè)壁,移動X軸，全行程內(nèi)讀出數(shù)值差。
7．X軸與Y軸運動方向的垂直度
具體操作：置標準角尺平放于工作臺面上校直基準邊（如X軸方向），移動垂直方向軸（如Y軸），每300mm范圍內(nèi)讀數(shù)值差（見圖）。
注：該項為檢測X軸與Y軸導(dǎo)軌安裝垂直度。
8．Z軸運動方向上的主軸直線度
具體操作：標準角尺置于工作臺中央（見圖），調(diào)整等高塊，使角尺測量邊與Z軸平行。移動Z軸每300mm ，測Z軸對測量邊的跳動差值。
Z—X方向由角尺放置X軸方向測得。
Z—Y方向由角尺放置Y軸方向測得。
注：該項為測Z軸導(dǎo)軌的直線度。
9．Z軸運動方向和工作臺面的垂直度
具體操作：標準角尺置于工作臺面中央（見圖）
移動Z 軸，測出差值（每300mm）
Z—X方向由角尺放置X軸方向測得。
Z—Y方向由角尺放置Y軸方向測得。
注：該項為測Z軸對工作臺面的垂直度。
10．工作臺面和主軸軸線的垂直度
具體操作：千分表座固于主軸上，表針打至工作臺面，以直徑為300mm劃圓測出數(shù)值差。
Z—X平面由表針旋至X軸方向側(cè)得。
Z—Y平面由表針劃圓旋至Y軸方向側(cè)得。
11．主軸錐孔與主軸的同軸度
具體操作：標準芯棒置于主軸錐孔，主軸旋轉(zhuǎn)，測芯棒之偏擺數(shù)值差。（見圖）
12．主軸內(nèi)孔徑向跳動
具體操作：千分表座固于工作臺或主軸座上表針打至內(nèi)孔壁（見圖），測跳動數(shù)值差、主軸轉(zhuǎn)動。
注：該項為測主軸內(nèi)錐孔的圓度。
13．主軸端外圓徑向跳動
具體操作：該項與第12項同理。
14．主軸端面軸向跳動
具體操作：該項與第12大項同理。
以上檢測要點：
第1、2、7、8、9為測三軸導(dǎo)軌精度
第3、4 為測工作臺安裝精度
第5、6 為測工作臺精度
第10為測主軸安裝精度
第11、12為測主軸內(nèi)錐孔制造精度
第13、14為測主軸端制造精度
第5、8項固無專用量具無法直接測出，可用描點法間接測出，方法如下：
第5項具體操作：在測第3、4項同時，在所測范圍長度內(nèi)分若干段，讀出其對應(yīng)數(shù)值比例，作圖求出其直線度（見圖）。
第8項具體操作：在測第9項同時按上述同理求出。
